全自動掃描電鏡采用統(tǒng)一的優(yōu)良電子光學(xué)技術(shù),具有相同的分辨率性能和圖像質(zhì)量,涵蓋市場用戶各種配置需求,可升級為亮度提高10倍的更高級的電子槍,實現(xiàn)納米尺度形貌快速表征,樣品臺均采用先進(jìn)優(yōu)中心結(jié)構(gòu),方便傾斜復(fù)位,微區(qū)多角度原位分析。
全自動掃描電鏡隨時開關(guān)機(jī),操作分析靈活高效率,使用維護(hù)簡便很經(jīng)濟(jì),無需獨(dú)立地線,可移動,集成多項高新科技成果,具有的易設(shè)置和易使用性,是一款安裝于電鏡鏡筒上、采用氣體冷卻的冷凍制備系統(tǒng),具備樣本快速冷凍、處理、轉(zhuǎn)移的所有裝置。
掃描電鏡冷凍制樣腔室配備渦輪分子泵,內(nèi)置樣本斷裂、升華刻蝕、濺射鍍膜的工具,樣本隨后經(jīng)冷凍傳輸系統(tǒng)到掃描電鏡的冷臺進(jìn)行觀察,制樣腔室和SEM腔室的冷捕獲能力確保全程處于冷凍狀態(tài),樣本的處理時間在5-10分鐘,通過裝在寬敞的工作站上的大且直觀的觸摸屏實現(xiàn)的,操作者可隨時訪問和控制所有操作參數(shù)。
掃描電鏡整體系統(tǒng)的突出特點是可視性,冷制備腔室和SEM腔室裝有CCD,其內(nèi)部圖像被顯示在控制屏上,制備腔室有五個觀察窗口,方便觀察樣品和腔室內(nèi)部的情況,圖像可布滿整屏,允許用戶自定義方案,可快速輸入和儲存方案以便隨時訪問調(diào)用,可實現(xiàn)自動濺射及自動升華刻蝕的功能,并且具有屏幕幫助及操作提示功能,通過CCD相機(jī),屏幕可顯示制備腔室和掃描電鏡腔室內(nèi)部的圖像。