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掃描電鏡(SEM)是如何檢測(cè)樣品信息的

 發(fā)布時(shí)間:2017/11/30 點(diǎn)擊量:2427
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詳細(xì)介紹:

掃描電鏡(SEM)是一種用途廣泛的科學(xué)儀器,它可以根據(jù)用戶(hù)的需求提供樣品不同類(lèi)型的信息。在這里我們將闡述在掃描電鏡(SEM)中產(chǎn)生的不同類(lèi)型的電子,它們是如何被檢測(cè)出來(lái)的,以及它們可以提供的信息等。

 

電子顯微鏡是通過(guò)電子束來(lái)成像的。在圖1中,您可以看到電子與物質(zhì)相互作用所產(chǎn)生的各種信號(hào),所有這些不同類(lèi)型的信號(hào)攜帶著關(guān)于樣品的不同的有用信息,由電子顯微鏡的操作人員根據(jù)需要選擇接收的信號(hào)。

 

例如在透射電鏡(TEM)中,正如它的名字所示,檢測(cè)到的信號(hào)是透過(guò)樣品的電子,會(huì)提供樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)的信息。在掃描電鏡(SEM)下,通常需要檢測(cè)兩種類(lèi)型的信號(hào):背散射電子(BSE)和二次電子(SE)。

圖1:電子與物質(zhì)相互作用區(qū)域,產(chǎn)生不同類(lèi)型的信號(hào)

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