半導體電子顯微鏡觀測材料、礦物、生物樣品、器件透射電子顯微象及電子衍射圖,對樣品微觀組織、結構、缺陷等定性、定量分析。 可對樣品在加熱、拉伸、電子輻照等條件下微觀組織的變化過程進行動態(tài)觀測。與普通電子顯微鏡相比較,它可以進行微觀過程的動態(tài)實驗觀察、輻照效應研究、厚試樣和粗大析出物的觀察分析以及半導體微器件結構研究。
半導體電子顯微鏡快速切換物鏡,提高檢查速度電動物鏡轉換器的切換速度比原來提高了20%。物鏡的切換,可以操作按鈕瞬間完成,提高了檢查速度。三種潔凈類型的物鏡轉換器可以按需選擇。另外,UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸攝像元件的CCD攝像機,在切換倍率時也不會由視場中心附近偏離。