飛納掃描電鏡放大倍數(shù)超過(guò)10萬(wàn)倍，分辨率<100 nm，能勝任大部分微納米結(jié)構(gòu)樣品的測(cè)樣需求，還可以起到為場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的測(cè)量篩選樣品的作用。
掃描電鏡作為系統(tǒng)流變學(xué)研究所材料表征平臺(tái)之一，能夠在多方面的研究工作中發(fā)揮重要作用，例如：材料的構(gòu)效關(guān)系研究、納米和微米結(jié)構(gòu)檢測(cè)、微流道加工、微納噴頭制備等。
儀器性能與優(yōu)勢(shì)：多種成像模式獲取高清晰度圖像；30秒快速成像，適合各類(lèi)固體與粉末樣品的快速檢測(cè)；1500小時(shí)壽命/高亮度/低色差CeB6燈絲；自動(dòng)燈絲對(duì)中，自動(dòng)調(diào)節(jié)圖像亮度、對(duì)比度；樣品導(dǎo)航，全程定位樣品掃描位置；無(wú)需噴金的條件下可直接觀測(cè)各類(lèi)材料；具有一定的防震功能，對(duì)表征環(huán)境要求不高。
掃描電鏡采用低加速電壓（5、10、15 kV）、低真空度（0.1 mBar）、高靈敏度背散射電子探測(cè)器與長(zhǎng)壽命高亮度低色差的CeB6燈絲的優(yōu)化組合，為樣品提供高信噪比、表面細(xì)節(jié)豐富的優(yōu)質(zhì)圖像，探測(cè)背散射電子，展現(xiàn)清晰形貌結(jié)構(gòu)，低加速電壓，電子穿透深度淺，避免樣品的深度破壞，展現(xiàn)更多表面細(xì)節(jié)。
分析測(cè)試中心的傳統(tǒng)大型電鏡屬于稀缺科研資源，無(wú)法滿足眾多課題組的大量測(cè)樣需求。通常使用這類(lèi)電鏡需要排隊(duì)預(yù)約，為此常常耗費(fèi)大量的等待時(shí)間，導(dǎo)致實(shí)驗(yàn)無(wú)法及時(shí)得到結(jié)果反饋。飛納掃描電鏡15秒抽真空，操作簡(jiǎn)單、載樣快捷，該電鏡的應(yīng)用可以大幅度提高研究效率。
